A包对应招标文件二册：10.19 济南大学信息和自旋电子研究院招标文件（第二册）.pdf

项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备采购项目 项目编号：SDGP370000201802001049 济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备采 购项目公开招标文件 (第二册 项目专用部分) 采 购 人：济南大学 代理机构：山东三木招标有限公司 项目编号：SDGP370000201802001049 日 期： 二〇一八年十月 1 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 目 第一册 录 通用部分 第一部分 投标人须知 第二部分 政府采购合同格式 第三部分 投标文件格式 第四部分 附件 第二册 项目编号：SDGP370000201802001049 项目专用部分（本册） 第五部分 投标邀请 .................................................................................................................. 3 第六部分 供应商须知附表 ...................................................................................................... 5 第七部分 评标方法和评分细则 .............................................................................................. 9 一、评标方法 ...................................................................................................................... 9 二、 需要提供的资格审查内容 ........................................................................................ 9 三、 评分细则 .................................................................................................................. 10 四、初步审查属于无效投标的条款： ............................................................................ 11 第八部分 技术要求及说明 .................................................................................................... 13 一、分包及预算明细表 .................................................................................................... 13 二、重要提醒 .................................................................................................................... 13 三、技术参数要求 ............................................................................................................ 14 四、交货期 ........................................................................................................................ 14 2 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 第五部分 项目编号：SDGP370000201802001049 投标邀请 山东三木招标有限公司（以下简称采购代理机构）受济南大学的委托，对“信息和自旋 电子研究院等科研设备”项目货物及其他相关服务进行国内公开招标，欢迎符合条件的合格 供应商参与投标。 一、项目名称及编号 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备采购项目 项目编号： SDGP370000201802001049 二、采购内容及分包 1、采购内容：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备采购项目，包括拟采购设备 的供货、运输、安装调试及售后服务等。 2、分包情况：本次项目为共分为 4 个包，供应商可以选择一个包或多个包进行投标， 单包内设备不允许拆包后投标。具体技术、服务要求详见“第八部分技术要求及说明，分包 及预算明细表”。 三、供应商资格要求 1、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件； 2、在中国山东政府采购网报名成功，同时在招标代理机构报名并获取招标文件； 3、本项目不接受联合体投标。 四、招标文件发售的时间、地点、售价及方式 1、时间：2018 年 10 月 20 日至 2018 年 10 月 26 日 ，每天 8:30 至 17:00（节假日除外）。 2、地点：济南市市中区二环南路 6636 号中海广场 8 层 804(山东三木招标有限公司)。 3、售价：300 元/包。招标文件售出不退。 4、报名方式：凡有意参加本次政府采购的供应商必须在“中国山东政府采购网 （http://www.ccgp-shandong.gov.cn）”注册登记报名成功，携带营业执照副本复印件、公 告所需资质证书复印件（需加盖公章）到代理机构现场报名或者把营业执照副本复印件、公 告所需资质证书复印件、投标报名表（下载地址： http://www.chinasanmu.com.cn/list.asp?art_id=3883）、标书费汇款底单截图发送至报名 3 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 邮箱 sdsmzb@163.com。报名咨询电话：0531-83110220，（开户单位：山东三木招标有限公 司，开户银行：中国工商银行济南六里山支行，账号：1602001319200062147。）未按上述要 求报名及未报名但已获取标书的，报名均无效。 五、投标文件的递交 1、递交投标文件时间：2018 年 11 月 13 日 08:00-09:00（北京时间）。 2、递交投标文件截止时间和开标时间：2018 年 11 月 13 日 09:00（北京时间），逾期 递交的投标文件不予接受。 3、递交投标文件和开标地点：济南大学中心校区 10 教学楼第 5 会议室（济南市南辛庄 西路 336 号）。 六、采购人信息 1、名称：济南大学 2、地址：济南市南辛庄西路 336 号中心校区 3、联系人：刘老师 4、联系电话：0531-82765739 七、采购代理机构信息 1、名称：山东三木招标有限公司 2、地址：济南市市中区二环南路 6636 号中海广场 8 层 804。 3、项目联系人：王传栋、景敏 4、联系电话：0531-82979333 5、电子信箱：sdsmzb@163.com 6、开户名称：山东三木招标有限公司 7、开户银行：中国工商银行济南六里山支行 8、账 号：1602001319200062147 4 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 第六部分 项目编号：SDGP370000201802001049 供应商须知附表 序号 内容 说明与要求 1 采购人 名称：济南大学 地址：济南市南辛庄西路 336 号中心校区 供应商特定资 进口设备须提供制造商或合法代理商针对本项目出具的授权书。 格要求资质 本项目不接受联合体投标。 2 1、国产设备人民币完税报价。进口货物人民币报价，报价包含外贸 代理费、货物、包装、运输、安装、调试、培训、验收、保险、税费、 运杂、因国家政策调整等不可抗力引起的相关税费等项目执行过程中 可能发生的一切费用。到货口岸为济南机场，能够免税的进口货物报 价应为免税价格。中标人须按照外贸代理费率参考表与本项目招标人 指定外贸代理公司签订外贸代理合同，由外贸代理公司办理海关入境 3 报价币种 进口手续，招标人不接受国内现货，配件（附件）中如有国内供货的 须在投标文件中标明。汇率风险由中标人承担。 2、外贸代理费收费标准如下： 合同金额区间 外贸代理手续费（含银行费和清关费用） 65 万元（含）以下 2.8% 65 万元以上，200 万元（含）以下 200 万元以上 2.5% 2.0% 4 备选方案 不允许 5 资金来源 采购计划编号 140012201800104；资金来源：财政资金+自筹。 正本一份，副本六份，报价一览表一式三份，电子版投标文件（U 盘 6 投标文件份数 或光盘）一份、保证金退付表一份。正本、副本、报价一览表、电子 版投标文件、保证金退付表分别单独密封。 7 保证金提交时 间及金额 1、投标保证金提交形式采用下列形式之一：支票、银行汇票、银行 本票、电汇、投标担保函。投标保证金为电汇形式的，汇款单上须注 明招标项目编号、所投包号。 5 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 2、保证金金额: A 包：4200 元，B 包：8000 元，C 包: 62000 元，D 包：12000 元。 汇款时备注“ 项目 包保证金”。 3、保证金的提交单位必须与供应商名称一致。 4、收款单位：山东三木招标有限公司 开户银行：中国工商银行济南六里山支行 银行账号：1602001319200062147 8 9 10 11 12 13 履约保证金 递交投标文件 的时间和地点 公开报价时间 和地点 检查投标文件 的密封情况 本次采用预交 5%合同金额作为履约保证金。 开户单位：济南大学; 开户银行：济南市农行济微路支行 开户账号：15-112201040001124 地址：济南市南辛庄西路 336 号； 电话：0531-82765639；联系人：董老师。 时间 2018 年 11 月 13 日 08:00-09:00（北京时间）。 地点：济南大学中心校区 10 教学楼第 5 会议室（济南市南辛庄西路 336 号）。 时间：2018 年 11 月 13 日 09:00（北京时间）。 地点：济南大学中心校区 10 教学楼第 5 会议室（济南市南辛庄西路 336 号）。 由见证律师及供应商授权代表检查投标文件密封情况 成交服务费收 中标人向采购代理机构交纳中标服务费,以中标价格为计费基础，收 取标准 费标准执行“计价格[2002]1980 号”规定收取。 见 证 律 师 费 的 由中标供应商交纳中标额 1‰的见证费,单包不足 500 元的,按 500 交 收费标准 纳。 构成本招标文件的各个组成文件应互为解释，互为说明；如有不明确 或不一致，构成合同文件组成内容的，以合同文件约定内容为准；同 14 招标文件解释 一部分组成文件中就同一事项的规定或约定不一致的，以编排顺序在 权 后者为准；同一部分组成文件不同版本之间有不一致的，以形成时间 在后者为准。按本款前述规定仍不能形成结论的，由采购代理机构负 责解释。 6 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 1、技术响应表 技术部分评审 15 依据内容（综合 对比 2、制造商公开发布的印刷资料 3、检测机构出具的检测报告 4、制造商官方网站下载的技术证明材料 5、由制造商或省级及以上固定代理商盖章确认的投标货物详细技术 描述。 1、国产设备：货到经甲方验收合格后付 100%，国产设备中标人须向 甲方开具 16 个点的增值税专用发票。 16 付款方式 2、进口设备：中标后甲方将 100%货款支付给外贸代理公司，外贸代 理公司按照中标金额的百分比扣取外贸代理手续费后直接与国外设 备制造商签订外贸合同（不接受合同卖方为离岸公司）。 17 18 投标文件格式 按招标文件要求 业绩同类项目 若包内有多个设备的，以价格比重较大的设备业绩为准考核，若包内 的界定 只有一个设备的，以该设备的业绩为准考核。 1、提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参 加同一合同项下投标的，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品 牌投标人获得中标人推荐资格。评审得分相同的，按投标报价由低到 高顺序排列，得分且投标报价相同的，按技术指标优劣顺序排列。 19 同一品牌产品 相关问题 2、非单一产品采购项目中核心产品的确定原则： 1）第八部分技术要求及说明中规定核心产品的，以核心产品参 照上述第 1 款的规定。 2）第八部分技术要求及说明中未规定核心产品的，多家代理商 所投同一品牌产品价格总和均超过该项目投标总价 50%的，适用于上 述第 1 款的规定。 参与政府采购招投标活动时，未按强制节能清单投标的，属于无效投 标。节能清单以最新一期为准。台式计算机，便携式计算机，平板式 20 强制节能要求 微型计算机，激光打印机，针式打印机，液晶显示器，制冷压缩机， 空调机组，专用制冷、空调设备，镇流器，空调机，电热水器，普通 照明用双端荧光灯，电视设备，视频设备，便器，水嘴等品目为政府 7 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 强制采购的节能产品。 投标注意事项： 1、供应商须于报名截止前在中国山东省政府购买服务信息平台并报 名成功。（网址： http://www.ccgp-shandong.gov.cn/sdgp2017/site/index.jsp） 21 特别说明 2、参与投标活动的供应商应当遵循公平竞争和诚实信用的原则，任 何违反公平竞争和诚实信用的行为都将导致投标无效，且依据《中华 人民共和国政府采购法》第七十七条进行处罚。 3、根据财库〔2015〕135 号的相关规定，本次招标将对中标人的投 标报价明细表进行中标公示，请投标人务必认真填写，如因填写有误 等投标人自身原因引起的质疑等产生的一切后果由投标人承担。 说明：本表内容与招标文件其他部分内容不一致的，应当以本表内容为准。 8 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 第七部分 项目编号：SDGP370000201802001049 评标方法和评分细则 一、评标方法 通过资格性、符合性审查的投标人可以参与详细评审。本次评标采用综合评分法，依据 供应商投标文件的情况对其报价、技术和商务等各项评分因素进行评价，综合评选出最佳报 价方案。每一投标人的最终得分为所有评委评分的算术平均值。最高得分的投标人为中标人。 得分相同的，报价较低的一方为中标人。得分且报价相同的，技术指标较优的一方为中标人。 二、需要提供的资格审查内容 序号 证明材料名称 备注 1 有效的营业执照复印件； 2 依法缴纳税收的相关材料 3 依法缴纳社会保障资金的相关材料； 参加政府采购活动前 3 年内在经营活动中没有重大违法记录 4 的书面声明（注：按招标文件格式提供）。 在“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购 网(www.ccgp.gov.cn)、信用山东（www. creditsd.gov.cn） 查询的本投标人未被列入“失信被执行人名单”、“重大税 收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信行为记 录名单”的截图，附在投标文件内（注：自招标公告发布之 日起至投标文件递交截止时间止，出具相关证明材料，查询 时要将查询网页、内容进行截图或拍照，以作证据留存，截 5 图或拍照内容要完整清晰，应包括网站网址、查询内容、电 脑截屏时间。 采购人或者采购代理机构应当对投标人信用记录进行甄别， 对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府 采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共 和国政府采购法》第二十二条规定条件的投标人，应当拒绝 其参加政府采购活动，其投标无效；两个以上的自然人、法 人或者其他组织组成一个联合体，以一个投标人的身份共同 9 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 参加政府采购活动的，应当对所有联合体成员进行信用记录 查询，联合体成员存在不良信用记录的，视同联合体存在不 良信用记录，其投标无效。信用信息查询记录及相关证据应 当与其他采购文件一并保存。）。 6 第二册投标人须知附表：投标人特定资格要求的资质。 装订顺序格式见第一册。 三、评分细则 总分 100 分 总分 组成 （1）价格 30 （2）技术 54 （3）商务 16 投标报价 30 分 以满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价， 其价格分为满分 30 分，其他投标人的价格分按照下列公式计算： 投标报价得分=（评标基准价/投标报价）×30%×100 评标小组根据各投标人所投产品的性能及技术参数偏离情 况、技术指标实质响应情况、系统详细配置响应情况、产品技术 方案、产品资料、技术文件响应情况等进行综合评估。 分为三个评价等级： a.优（25～38 分）招标文件技术要求中重要技术条款全部满 投标产品 足，其他主要技术条款及一般技术条款和基本配置等均满足并优 技术 技术响应 部分 38 分 于招标文件要求，且产品技术先进、实用。 b.良（13～24 分）招标文件技术要求中重要技术条款全部满 54 分 足，其他主要技术条款和基本配置等均满足招标文件要求，一般 技术条款负偏离较少，且产品技术先进、实用。 c.一般（1～12 分）招标文件技术要求中重要技术条款全部满足， 其他主要技术条款和一般技术条款有较多负偏离。 技术先进性 有评委认可的超过招标文件基本技术参数要求且与采购需求相关 3分 的正偏离或独有特色、创新技术，有一项得 0.5 分，没有不得分。 10 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 综合考虑投标产品整体技术性能是否符合采购需求及功能要求、 投标产品 投标产品配置是否全面、后期使用成本高低、产品使用是否稳定、 技术性能 是否易于维护及其它因素等，分为三个评价等级：a.优得 8～10 10 分 分；b.良得 4～7 分；c：一般得 1～3 分。 投标产品品牌 形象 3 分 综合考虑投标产品的知名度、市场占有率，分三个评价等级：a. 优得 3 分，b.良得 2 分，c.一般得 1 分。 综合考虑企业财务状况、资信情况、类似产品政府采购业绩等方 资信及履约能 力3分 面的情况，分为三个评价等级：a.优得 3 分，b.良得 2 分，c.一 般得 1 分。 综合考虑投标人的售后维修网点、服务标准、年限、响应时间， 服务支持 3分 技术力量、培训方式等内容，分三个评价等级：a.优得 3 分，b. 良得 2 分，c.一般得 1 分。 优惠条件 商务 4分 部分 16 分 经评标委员会集体认定的属于超过招标文件要求，且与采购需求 相关的优惠条件，得 0～4 分。 质保期超过招标文件要求的，且投标文件中提供制造商或其在采 质保期 2分 购人所属区域固定总代理商开具的针对本项目质保函原件，每多 一年得 1 分。（包内产品提供部分质保函的，由评委酌情得分）。 1、根据标书制作是否规范，对技术部分的描述是否准确等方面进 行考虑。分三个等级：a.优得 3 分，b.良得 2 分，c.一般得 1 分。 标书制作 4分 经评标委员会集体认定供应商复制粘贴招标文件制作技术响应表 的，该项不得分。 2、为响应政府采购节能环保政策功能，投标文件双面制作得 1 分， 单面不得分。 供应商的综合得分分值计算保留到小数点后两位数，第三位数四舍五入；当出现分值相同情 况时，则报价低者优先。 四、初步审查属于无效投标的条款： ★投标文件有以下情况之一的，在资格性和符合性审查时按无效投标处理，不得进入详 细评审阶段： 11 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 1、未向采购代理机构登记并购买招标文件的； 2、未有效提交投标保证金的； 3、未按招标文件规定要求编制、签署、盖章的； 4、单独密封的开标一览表未按规定签署、盖章的； 5、投标文件正副本未分，且内容不一致的； 6、投标有效期不满足招标文件要求的； 7、未按招标文件要求报价的； 8、投标报价超出项目预算的； 9、未经许可，以进口产品参与投标报价的； 10、评标委员会认定投标方案技术含量低或不符合招标文件要求的； 11、有重大偏离且采购人不能接受的； 12、不提供招标文件要求的任何形式技术资料的； 13、供应商须知附表另有规定的； 14、不符合法律、法规和招标文件中规定的其他实质性要求的。 12 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 第八部分 项目编号：SDGP370000201802001049 技术要求及说明 一、分包及预算明细表 包号 A 包内名称 是否允许进口 产品参与投标 机器人 是 1 光刻系统 否 1 B C D 数量（台/套） 预算（万元） 探针台系统 否 1 脉冲激光分子束外延系统 是 1 等离子体清洗机 否 1 混气系统 否 1 手套箱 否 1 高频加热设备 否 1 医用冷藏柜 否 1 接触角测量仪 否 1 气相色谱仪 否 1 磁力搅拌器 否 1 匀胶机 否 1 同步热分析仪 否 1 显微热台 是 1 管式炉 否 2 立式冰柜 否 1 冰箱 否 2 鼓风干燥箱 否 2 超声波清洗机 否 1 循环水真空泵 否 2 高功率超声仪 否 1 数控电离磁场发生系统 否 1 二、重要提醒 2.1 核心产品标识：“●”。 13 / 37 最高限价 （万元） 27.5 27.5 87.5 87.5 410 410 77.3759 77.3759 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 2.2 详细技术要求中★表示要求实质性条款，不满足的按无效投标处理，不进入综合评 审。 2.3 详细技术要求中*条款，如不满足评委酌情扣分。 三、分包与技术参数要求 A 包：机器人 机器人详细参数 1、全身自由度 20 个（20 个电机）：头：2 个；手臂：4x2（L/R）；手：2x2（L/R）； 腿：3；基底：3；参考尺寸：高:1210mm , 长:480mm, 宽:425mm； 2、控制中心参数： 触摸屏：多触点电容式触摸(≥5 点)；摄像头：2Mega pixel；传感器：光照计；配加速 计；陀螺仪；地磁传感器；OS： Android；CPU：1.3 GHz quad-core ARM Cortex-A7 ；闪存： 32G；LCD：类型 IPS，分辨率：≥1280 x 800 pixels，色彩：24 位真彩，接口：MIPI； 3、2D 跟踪系统：位置：两个 2D 跟踪器分别位于嘴巴和前额；成像阵列：分辨率 5Mp， CMOS ¼ 英寸，有效像素≥ (HxV) 2592 x 1944；动态范围≥68 db @8x gain，感应强度 600 mV/Lux-sec；输出：≥640 x 480 @ 30 fps，数据格式：YUV422 颜色空间；视野：≥68° ； 聚焦范围：30 cm ～∞，自动对焦。 4、3D 传感器跟踪装置 3D 摄像装置位于眼睛里；立体视觉；成像阵列：CMOS1/3 英寸，有效像素 (HxV)：≥2048 ×4096； 摄像机输出：320px×180px @ 5 fps，数据格式：YUV422 颜色空间,视野：≥74.0° ； 聚焦范围：40cm～∞。 5、主控单元 CPU 处理器：不低于 Intel ATOM E3845，Quad core 四核处理器，时钟速度：1.91 GHz， RAM：4 GB DDR3，闪存：24 GB 。 6、传感器参数：头：麦克风≥4 个，触控传感器≥3 个，扬声器 2 个；手：触控传感器 ≥2 个； 下部：声纳传感器 2 个：底座前面、后面各有一个声纳；灵敏度：-86 dB； 围界传感器≥6 个，推荐采用激光传感器，帧速率≥6Hz，自动曝光控制。 红外接近传感器≥2 个，轮子≥3 个 7、按钮：拥有启动按钮、紧急停止按钮、碰撞传感器 14 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8、电源模块：锂电池；容量：≥30.0Ah/790Wh 自主运行时间：待机模式≥19 小时，密集使用≥12 小时 9、联网：Wi-Fi:IEEE 802.11 a/b/g/（2.4GHz/5GHz），以太网 x1（10/100/1000base T）； 蓝牙(平板电脑）：4.0 B 包： 光刻系统(●) 一、 光刻主机部分： 主要技术参数： （1）曝光面积：150mm×150mm； （2）照明不均匀性： ≤4%（ φ150mm 范围）； （3）分辨力：1.0μm（365nm 波长） （4）对准精度：≤±0.8μm； （5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸； （6）样片尺寸：直径 φ 15mm-- φ 150mm、厚度 0.1mm--6mm； （7）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ:±6°； （8）掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm （9）曝光光源：紫外 LED（进口品牌）； （10）曝光波长：365nm； 2 （11）曝光强度：≥15mW/cm ； （12）曝光定时：倒计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定). （13）通过传感器调平接触压力 （14）数字设定对准间隙和曝光间隙 （15）具备压印模块接口，也具备接近模块接口 15 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 （16）设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系 统等部分构成。 ①曝光头系统包括: 紫外 LED 光源模块； LED 光源整形模块； XYZ 光源位置调节台； 光学系统（含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组（79 个透镜）、场镜组、反 射镜组）； 冷却风扇。 ②对准工件台系统包括： 掩模样片相对运动台（XY）； 转动台； 样片调平机构，采用三爪加球气浮自动调平方式； 样片调焦机构，采用电机加传感器方式，可数字分离曝光间隙； 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个）； 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个）。 ③ CCD 对准显微镜系统包括： 对准光源 LED 灯； 双目双视场对准显微镜主体； 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）； 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）； CCD 部件； 22 英寸宽屏液晶显示器。 ④电控系统包括： 16 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 单片机控制系统； 紫外 LED 电源模块； 控制柜桌。 ⑤气动系统包括： 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。 ⑥辅助设备配置: 真空泵 1 台（干泵）； 静音空气压缩机 1 台； 配套接管≥10m； ⑦备品备件 对准光源灯 4 只（LED-1W，不包括机器自带的两只）； 二、磁控镀膜部分 1、溅射真空室 真空室为圆筒形前开门结构，参考尺寸Ф450mmx400mm，全不锈钢结构。可内烘烤到 100～ 150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光，接口采用金属垫圈密封或氟 橡胶圈密封；手动前开门结构；靶安装在下盖板，基片转台在上法兰。 2、溅射系统 2.1、靶材尺寸：Ф60mm； 2.2、提供靶材：（Ti、不锈钢）测试靶材 3 块 2.3、永磁靶（其中一个可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷； 2.4、旋转气动控制挡板组件：3 套； 2.5、靶在下，向上溅射，共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），分布在一个圆周上，各 靶可独立/顺次/共同工作； 2.6、500w 直流电源 2 台（数字式恒流电源 ）； 17 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 2.7、500w 全自动调谐射频电源 1 台(数字式全自动匹配) 2.8、磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm。 3、旋转转基片台 3.1 基片尺寸和数量：4 英寸样品一次放置 1 片。 3.2、基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600°C，由热电偶闭环反馈控制， 可控可调； 3.3、基片公转由调速电机驱动，0—30 转/分连续可调 3.4、转角气缸样品挡板组件 1 套 4、窗口及法兰接口部件 1 套 5、加热装置 加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环 控制，系统由加热器和 1 个加热控温电源组成，加热电源配备日本进口控温表，控温方式为 PID 自动控温及数字显示；样品加热温度：室温～600°C，连续可调； 6、工作气路 1 套 6.1、100SCCM、20SCCM 质量流量控制器、CF16 电动截止阀、管路、接头等：共 2 路 6.2 DN16 气动充气阀、DN16 气动放气阀、管路、接头等：4 路； 7、抽气机组及阀门、管道 1 套 7.1、复合分子泵及变频控制电源：1 台；； 7.3、DN40 电动截止阀：1 台； 7.4、机械泵与真空室之间的旁抽管路：1 套； 7.5、CC150 气动闸板阀：1 台； 7.6、节流阀：1 台 7.7、DN40 旁抽角阀：1 台 7.8、压差式充气阀：1 台 18 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8、安装机台架组件 1 套 优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮， 可固定，可移动。 9、真空测量 1 套 溅射室采用进口品牌复合规进行测量。 10、系统采用 PLC+嵌入一体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式 10.1、系统设有实验镀膜模式与全自动镀膜模式： 在实验镀膜模式情况下，可实现一键启动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设 置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。 在全自动镀膜模式情况下，系统可按预先设制的工艺菜单自动运行程序镀膜。此模式适 于小批量生产及镀膜工艺稳定性、重复再现性实验。此时系统处于全闭环控制状态。 10.2、系统提供计算机实时通讯，显示记录真空度以及加热温度 PID 调节设定。 10.3、系统提供计算机实时通讯，设定显示直流电源、射频电源功率参数调整，气体 流量控制调节，制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储。 10.4、系统提供计算机 MFC 的工艺气体稳压控制调节。 10.5、计算机设定显示挡板状态，样品转速等 11、分别配备 48L 纯度为 99.9999%氧气,纯度为 99.9999%氩气各一瓶以及减压表。 探针台系统 一、 探针台部分： 主要技术参数： 1． 8 寸探针台主体 1 套 1.1 重型稳定台座 1.2 探针台载物台平整度：≤±2.5μm 1.3 探针台右侧有显微镜升降机构，可以抬高显微镜，便于更换镜头和换待测物 1.4 探针台左侧有抬杆可以把台面快速升降≥8mm，并有锁定功能 19 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 1.5 探针台右下方有旋转轮，可以微调控制台面升降范围 25mm，精度 1μm 1.6 ≥8 英寸载物盘，采用真空吸附方式，中心孔径 250μm ~ 1mm 1.7 旋转轮可以控制载物盘 X-Y 方向的移动，移动范围为≥200mm x 200mm， 1.8 探针移动精度为≤1μm 1.9 载物台具有快速导入导出功能，便于上下料。 1.10 搭配体式显微镜，显微镜 X-Y-Z 移动范围 50mm。 1.11 搭配≥4 颗探针座，进行 DC 或者高频测试 2．可连续变焦超长工作距离显微镜 1 套 2.1 标准 4 孔 2.2 双目镜 10X 2.3 2X 物镜(34 mm 工作距离,0.055 N.A.) 2.4 20X 物镜(20 mm 工作距离,0.42 N.A.) 2.5 10X 物镜(33.5 mm 工作距离,0.28 N.A.) 2.6 150W 光源系统( 光纤线缆 1.5m) 2.7 具有 1X,2X 放大，总放大倍数 20X-400X 3 影像显示系统 1 套 3.1 CCD 适配器，500 万像素，带工作软件 4．探针座 4 个 4.1 X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x12mm 4.2 线性移动 4.3 移动精度：100TPI 4.4 磁性底座 5．三轴线缆及探针臂 4 条 5.1 三轴线缆，三轴转接头 5.2 线缆长度为≥1.5M 5.3 配合屏蔽罩测试精度最高可达 100FA 级别 6 真空泵 220V1 个 6.1 气流量：7L/min 7 防震台 1 套 8 屏蔽罩 1 套 20 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8.1 参考 尺寸：1200(H) x 1300(W) x1000(D) 8.2 4 套三轴转接头 9 直流针（针尖为 0.2u） 12 个 10 直流针（针尖为 1u、5u、10u、20u 可选择）每种各 12 支 二、进口品牌电流电压源表 1.直流源表，双通道，最大电流：3A，最大电压：40V，电流测量最小分辨率 ：100fA， 电压测量最小分辨率：100nV 三、甩胶模块部分 1．转速范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm 2. 加速度可调范围：100-30000rpm/s 3. 最大单步步长：3000s，时间分辨率：≥0.1s 4. 单步和多步运行可选，可编程 10 组 10 步程序 5. 宽电压适用，AC100-230V 输入，中英文界面可选 6. 标配 10mm、25mm、55mm 三种直径规格真空载物盘 四、升温模块部分 1. 阳极氧化铝加热面板，尺寸：220mm*220mm 方形 2. 控制范围：室温-300℃ 3. 温度分辨率：0.1℃ 4. 控制精度：±1℃ 5. 温度均匀性：<±2% 6. 电源输入：220V,5A,1000W 五、进口品牌工作站 1.支持 4x GPU，支持 10 个硬盘位 数量：1 2.主板 双路 Intel® LGA2011 R3 主板, Up to 512GB ECC, 16x DIMM sockets, 4x PCI-E 3.0 x16 and2x PCI-E 3.0 x8 数量：1 3. CPU E5-2620V4/8 核心/16 线程/2.1GHZ 数量：2 4. 内存 三星 16G DDR4 2400MHZ,合计 128G 数量：8 5.SSD INTEL S4500 480G 企业级 SSD 数量：1 6.硬盘 希捷 4TB SATA 3.5’’ 6Gb/s 企业级机械硬盘 数量：1 7.GPU NVIDIA TITANXP 显存 12GB 单精度 11TF 数量：4 21 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8.系统 Linux Ubuntu 16.04 系统 数量：1 机箱 4U 塔式机箱 数量：1 9.电源 2000W 80PLUS 冗余高效电源 数量：1 10.计算软件 GNU C/C++编译器；GUN Fortran77/90 编译器；高性能计算函数库； cuBlascuFFT；cuSparse；cuRand；npp；OpenCL。 11.AMAX 学习套包 Caffe,Torch,tensorflow,Theano，BIDMach，cuDNN v7；NVIDIA 认 证驱动 SDK， NVIDIA® CUDA® Toolkit 8.0、 NVIDIA DIGITS 软件 12. 保修 3 年整机产品质保，具备远程机器检测能力。7*24 小时热线服务，5*8 小时现 场服务，外设部件免费更换服务。 13. 测试 5stageQA 至少包括 24 小时负载 99%的耐高温测试，75 小时不宕机测试等 14. Burn in 和 function test 机器稳定性和散热的测试。 15. Memory Testing 内存测试报告。 16. 操作系统系统安装以及稳定性测试报告。 C 包：激光分子束外延系统 基本配置: 1. 沉积腔体程控系统 2. 多靶材操作系统 3. 激光二极管基板加热系统 4. 反射高能电子衍射仪系统 5. 单轴组合光罩定位装置 6. 加载互锁传送真空室 7. 准分子激光器系统 基本规格: 1.沉积腔体程控系统 1.1 腔体真空从大气压抽到 5.0X10-6Torr 耗时小于 30min；本底真空度烘烤 48 小时后应 达到 5×10-10Torr，烘烤溫度高於 150 度；平时常用背景真空≤5×10-9Torr，SUS304 不锈 钢材质，腔体电泳抛光,须提供同类产品销售证明及测试报告(须有使用单位的签章)。 1.2 薄膜生长时的最高压力≥760 Torr。 1.3 可程序同步控制外部准分子激光开关。 1.4 分子泵 1 个抽速≥800L/s ，机械式真空泵 1 个 抽速≥235L/min , 配有相应的气动 22 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 阀和旁路等。 1.5 应预留 3-4 个 4.5”英吋接口以保证设备的扩展性。 2.多靶材操作系统 2.1 靶材激光入射角为 45 度,激光经由高功率准分子激光反射镜 AOI:45 ﾟ及 AOI:22.5 ﾟ 的 2 次转折至靶材, 反射率（248nm）：UN>，45°时 R> 99.0％。 2.2 靶材在腔体下方，基板处于靶材正上方,可配合单轴组合光罩定位装置同步使用。 2.3 靶材与基板之间距离可调整范围为 20-80mm。 2.4 多靶材系统，可提供≥6 个 1 英寸靶位，可自转公转，来回摆动，由步进马达驱动, 可用程序软件控制所有靶材的选择，360 度自转与公转，提供安全保护。 2.5 配备 z 轴 stage，可调整靶材与样品距离，搭配传感器用于 home 点以及安全连锁,Z 向 移动范围 20 mm。 2.6 样品位移台，加载客户定制的样品托（样品托图纸由采购人提供）。 2.7 具备靶材分隔板及保护板。 3.激光二极管基板加热系统 3.1 半导体激光器加热，加热功率≥120W，加热温度≥1100℃，温度精度在±1℃，PID 自由设定控制温度与加热速度，可加热≥10mmX10mm 样品，温度均匀度≤1%。 3.2 基板和激光加热系统为垂直方式,可确保基板 360 度旋转与均匀受热。 3.3 搭配温度梯度样品托,温度梯度加热功能,温度差≥200℃，须提供原厂证明文件。 3.4 样品架为非磁性样品架可配合单载台差分式电子枪（反射高能电子衍射仪系统）同 步使用。 3.5 配有冷却水循环机,流量≥12L/min。 4. 反射高能电子衍射仪系统 4.1 可在高真空(1X10-6Torr)环境下观察的反射高能电子衍射仪系统,重量≤2.5KG。 4.2 最大 30kV 加速电压(25kV 速率),电子束电流 3000mA。 4.3 电子束导轨的 XY 轴和倾斜运动， XY 轴调节精度为为±0.01mm，,可变定位荧光屏。 4.4 衍射图像处理系统:高分辨率 CCD 相机单元，深浅(黑白平衡调整)，图像处理软件。 4.5 分子泵 1 个，抽速≥60L/s , 机械式真空泵 1 个，抽速≥160L/min, 配有相应的气 动阀和旁路等。 5.单轴组合光罩定位装置 23 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 5.1 在同一个基板上可以随意组合薄膜成分，并同时长膜，可用组合式屏蔽(COMBI MASK) 成长多元组合薄膜, 电机驱动，移动精度好于 100μm。 5.2 单轴线性运动组合掩板定位系统,可程控长出 2 元、3 元、准 4 元薄膜,须提供文献 或分析文件。 5.3 可用程序软件控制单轴组合光罩定位装置。 6.加载互锁传送真空室 6.1 本底真空≤5×10-7Torr。 6.2 可存储 2 个样品及 4 个靶材。 6.3 通过磁力传样杆线性传输样品和靶材至生长腔室。 6.4 分子泵 1 个，抽速≥60L/s , 机械式真空泵 1 个，抽速≥160L/min, 配有相应的气 动阀和旁路等。 7.准分子激光器系统 7.1 脉冲能量(mJ) 248nm，≥ 750mJ。 7.2 最大频率(Hz): 10。 7.3 平均功率 (W) 248nm: 7.5。 7.4 能源稳定性(1 sigma) (%): ≤0.75 。 7.5 脉冲持续时间(FWHM) (ns): 25。 7.6 光束参考尺寸(V x H, FWHM) (mm2): 24 x 10。 7.7 光束差异(V x H, FWHM) (mrad2): ≤3 x 1。 7.8 光束指向稳定性 (1 sigma) (μrad): ≤50。 7.9 电源: 200 ~ 240V AC, 16A, 50/60 Hz。 7.10 冷却: 2 ~ 5 l/min. 控温范围：15 ~ 20°C。 7.11 外型参考尺寸(L x W x H): 1680 x 375 x 790mm3。 8.其他配置及验收要求： 8.1 系统 10 天内完成安装调试,即可实现 STO 外延生长，并用反射高能电子衍射仪系统 观测到振荡图案。测试报告中需含有脉冲激光沉积生长样品在高真空度下(5E-6Torr) 的 STO 生长振荡不得小于 10 次的图形。 8.2 须检附文献证明该机台的多靶材操作系统与单轴组合光罩定位装置能在同一个基板 上(10mm*10mm)可以随意组合薄膜成分，并同时长膜,成长多元组合薄膜,可高达 1000 个不同 成长区块的组合排列。 24 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8.3 垫圈，真空观察窗，密封铜圈，法兰、波纹管等真空配件。 D 包：等离子体清洗机等 序号 设备名称 详细技术要求 1、电源：AC220V 数量 50/60Hz 2、最大输出功率≥29W，功率 3 档可调。 3、真空泵功率：500W 4、总功率：≤600W 1 等离子体 清洗机 5、射频频率：3.0MHz 6、等离子腔体：高纯石英腔体，参考尺寸 Φ160mm×190mm， 1 采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有观察窗 7、真空泵：≥240L/min，直连式双旋真空泵 8、极限真空度：≤50mtorr 9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如 N2、Ar、H2、 O2、Air 和混合气体等（根据材料性质选定） 功能：三通道 工作温度：5~45ºC 6 最大压力: ≥3x10 Pa 精度: ±1.5% FS 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. 重复精度: ±0.2%F.S. 流量范围：一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 2 混气系统 SCCM 1 输入电源：AC 220V/50Hz 单相 功率：约 23W 显示屏：≥6”触摸屏，可设定查看各通道气路。 具备 RS485 通讯接口具备 PC 控温软件 压力表：有机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接，量 程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) 针阀：316 不锈钢 25 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 通气管道：内部连接管道为 1/4”不锈钢管外部通气管道为 1/4”聚四氟管 混气罐：Φ80X120mm 截止阀及配件：316 不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管 质量认证：CE 认证 水氧指标：≤0.1ppm； 泄露率：≤0.001vol%/h；提供第三方检测机构的检测报告。 技术指标： 1）手套箱箱体 箱体：内部尺寸：≥长×宽×高：1220mm×750mm×900mm 材 料：304 不锈钢 前窗：倾斜视窗，透明钢化安全玻璃，厚度≥8 mm 手套口：材料为聚甲醛，防腐蚀，O 型圈密封 手套： 进口品牌，丁基橡胶， 厚度 0.4mm ，Φ 8”×32” 过滤器 ： 规格 0.3 μm，1 个气体入口和 1 个气体出口 搁物架： 不锈钢材料，内置 3 层，可调节。 3 手套箱 箱体照明：LED 灯 1 管路：304 不锈钢 接口： 备用接口 3 个， DN 40 ，如增加接口，可另外注明， 电源接口 1 个 （220V） 2) 大过渡舱 过渡舱 尺寸：≥Φ360mm× 600mm 材料：304 不锈钢 滑动托盘：304 不锈钢 舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度 10mm，竖直操作，带提升 机构 压力表：模拟显示 控制：电磁阀触摸屏自动操作 3)小过渡舱 26 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 过渡舱 尺寸≥Φ150mm×300mm，进入手套箱部分长度约 100 mm 材料：304 不锈钢 舱门：双门，翻盖式 4）气体净化循环系统 净化柱 功能：气体密闭，除水、除氧 容器材料：304 不锈钢 净化材料：铜触媒：5 kg 分子筛：5 kg，进口品牌 净化能力：除氧：≥60L 除水：≥2Kg 水氧指标：≤1ppm 循环系统 工作气体：氮气、氩气 循环风机，进口品牌 循环能力：集成风机流量≥90m3/h，加装变频 再生 操作：PLC 自动控制再生过程 再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气 5-10%) 阀门 主阀：DN 40 ，电气动角阀 控制阀：电磁集成阀 管路：304 不锈钢 5）控制系统： 功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应 功能；自动控制、循环控制、密码保护；进口品牌。 压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- 10mbar 内可以自由设定，超出+/- 12mbar 系统自动保护； 脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压 6）显示系统：采用 PLC 进口 触摸屏，可显示运行状态，箱体 27 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 压力、系统记录等 7）真空系统控制情况：真空泵，可手动或通过 PLC 启动，流量 ≥8m3/h ,可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极 限真空度≤2x10-1pa 8）水分析仪：测量范围：0～500ppm。进口品牌，采用 P2O5 传 感器，可进行清洗并重复使用。需第三方检测机构的检测报告。 9）氧分析仪：测量范围： 0～1000ppm。进口品牌，采用 ZrO2 传感器。需第三方检测机构的检测报告。 10）有机溶剂吸附器：放置箱内，参考尺寸：Φ135mm×255mm， 填充 2kg 活性炭，可快速更换材料。 质量认证：需要提供 CE、ISO、UL 等认证 射频频率:13.56 MHz ±0.005% 功率输出范围：5W-500W 最大反射功率：200W 电压：AC208-240V, 50/60Hz 4 高频加热 相数：单相 设备 溅射区域宽度：0-600MM 可调 1 匹配：自动 冷却：风冷 噪声：<50dB. 射频接口：50Ω,N-type 温度：2-8℃ 5 医用冷藏 柜 有效容积：≥300L 功率：215w 1 控温精度：1℃ 内部尺寸 mm：≥515*380*1280 6 接触角测 量仪 1、接触角测量范围：0~180 度 2、接触角测量分辨率：0.01 度 3、表面张力测量范围（悬滴法）：0～2000mN/m（毫牛顿/米） 28 / 37 1 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 4、样品台控制： a）前后移动 手动，行程≥50mm，精度≤0.1mm b）左右移动 手动，行程≥50mm，精度≤0.1mm c）上下移动 手动，行程≥45mm，精度≤0.1mm d）水平调整 水平脚调整平台水平 e）样品台尺寸≥70mm×100mm f）温度：常温。 5、进样器控制： a）上下移动 手动部分：齿条，行程≥25mm，精度≤0.1mm b）手动可控旋钮式进样系统 6、CCD 光学系统 a）光学放大 0.7－4.5×连续变倍图像放大率：50－ 315piexl/mm b）CCD 参数：USB2.0 制式 进口高速 CCD 100~700 帧/s（含进 口高速采集软件） 7、背景光控制： a）光源 LED 可调单色冷光源 b）镜头前后调整 手动，行程≥10mm，精度≤0.1mm c）镜头上下调整 手动，行程≥10mm，精度≤0.1mm d）镜头俯视调整 手动倾角平台 8、最新版影像采集分析专用软件： a）测量方式：半角量角法、半角量高法、自动测量法（圆拟合、 椭圆拟合、杨-拉普拉斯）、五点拟合法 b）动态视频测量 自动触发 c） 间隔存储 软件自由设定间隔时间 1～3600 秒 d）动态接触角 前进角和后退角，配旋转平台或整体旋转机构 （按用户要求提供） e）左右角对比 计算左右角并取平均值 f）液滴量控制 软件控制，精度≤0.1 微升（配全自动精确进样 29 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 装置） g）表面自由能：ziman 一液法、EOS 平衡法、owens 二液法、Wu 氏二液法、louis 酸碱三液法等多种方法可供选择 h）曲面校正 凹凸面接触角测量 i)软件升级 终身免费升级 9、仪器整体结构中包含七维运动调整模式 10、模块化设计、扩展型：需不换机持续扩展应用组件。 1)气相色谱仪需采用互联网通信技术，可组成局域网；互联网 实现远距离数据传输、远程控制、远程诊断、程序可进行自动 升级。 2)全微机化按键操作≥5.7 寸大屏幕液晶中文显示，人机对话方 式。 3)带双柱补偿功能。 4)大柱箱体积：≥300×280×170mm 需同时容纳≥两根 80m 毛 细管色谱柱。 5)绝热效果：柱箱、汽化、检测均为 300°C 时，外箱及顶盖最 热点不超过 40°C。 7 气相色谱 6)配件更换：进样垫、衬管、极化极、收集极、喷嘴需单手更 仪 换； 主体更换：填充柱、毛细管进样器、TCD、FID 检测器仅需 扳手即可完全拆卸。 7)智能后开门系统无级可变进出风量。 8)可同时安装两种进样系统:填充柱、毛细管分流/不分流进样 系统（具有隔膜清扫功能）；可同时安装两种相同或不同的检 测器：具有 FID、TCD、ECD、FPD 检测器。 9)具有开机自诊断功能、直观显示故障信息、停电储存保护功 能、键盘锁定功能、自动点火功能及具有抗电源突变干扰功能。 10)温控范围：室温～450℃，增量 1℃，精度±0.01℃ 11)程序升温：16 阶 升温速率 0.1～80℃/min 12)通信接口：以太网， IEEE802.3 30 / 37 1 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 13)网络反控色谱仪，实现网络多级控制、网络远程控制，温度、 压力、数据、桥流、精度均可软件反控控制； 14)采用一套软件网络反控色谱与系统，网络接口 RJ45； 15)热导检测器（TCD) S＞10000mv.ml/mg(正十六烷) ; -12 16)氢火焰检测器(FID) Mt ≤3×10 g/s(正十六烷); 搅拌点位数目：1 最大搅拌量：≥5L 电机输出功率：≥1.5 W 转速控制：≥6 档 速度范围：100 - 1500 rpm 8 磁力搅拌 器 加热输出功率：≥250W 加热温度范围：50 - 500°C 1 加热温度控制：LED 加热速度：≥2.5 K/min 固定安全温度回路：550°C 工作盘材质：陶瓷 工作盘尺寸：≥100 x 100mm DIN EN 60529 保护方式:IP21 供电条件：220 土 22V(单相)，频率 50Hz。 设备参考尺寸：210×220×160mm 9 匀胶机 Ⅰ档转速：4a 型 500-2000 转/分，Ⅰ档匀胶时间 2-18 秒； Ⅱ档转速：4a 型 2000-8000 转/分，Ⅱ档匀胶时间：3-60 秒。 1 LED 数字显示，电机功率 40W，转速稳定度±1%，胶的均匀性 4A 型±3%。 1. 温度范围: 室温~1150℃ 10 同步热分 析仪● 2. 温度分辨率: 0.1℃ 3. 温度波动: ±0.1℃ 1 4. 升温速率: 1~80℃/min 5.温控方式: 升温、恒温、降温 31 / 37 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 6. 降温速度（1000℃到室温）：≤25min 7. 天平测量范围: 1mg～2g ,可扩展至 30g 8．样品坩埚：φ5*5mm，φ8*8mm，φ25*20mm 等，可满足不同 剂量的测试。 9. 灵敏度:≤ 0.01mg 9. 恒温时间: 0～300min 任意设定 10.显示方式: 中文大屏液晶显示 11.气氛装置: 内置气体流量计，包含两路气体切换和流量大小 控制 (气氛:惰性、氧化性、还原性、静态、动态) 12.软件: 温度多点校正，校正点≥10 个。 13.可以满足 DSC 曲线的测试，相变温度、热焓、比热容等测试 14.基线漂移（室温到 1000℃）：≤0.01mg 15. 数据接口: 标准 USB 接口，专用软件（软件不定期免费升 级） 16. 电源: AC220V 50Hz 17.配套工作站 1.1 主体配置要求：冷热台主机、控制器、外壳冷却系统、控 制软件。 1.2 主要工作条件 1.2.1 工作电压：AC 220V±10%，50HZ； 1.3 定制探针热台性能 11 显微热台 1.3.1 温度范围：室温～1200℃； 1.3.2 测温分辨率:≤ 0.01℃； 1.3.3 温度稳定性：±1℃ 1.3.4 100℃时最大升温速度：≥200℃ /分钟； 1.3.5 样品区大小：≥16 mm x 16 mm； 1.3.6 样品区：方形（不接受圆形） 1.3.7 样品腔高度：3 mm 32 / 37 1 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 1.3.8 最小物镜工作距离：≤8 mm； 1.4 冷热台功能要求 1.4.1 控温方式：PID 控制，PID 参数用户可调； 1.4.2 控制器：热台可受控于控制器工作，支持全功率变温、 恒温、恒定速率变温、暂停命令、停止命令；支持多段可编程 控温，支持使用循环命令、等待命令进行编程；控制器可受控 于控制软件，可操作的范围应包含控制器的功能在内； 1.4.3 外壳冷却系统：对长时间工作于高温段的热台外壳进行冷 却，外壳温度不会影响和损害周遭物件，如载物台、物镜等； 1.4.4 样品腔：气密腔室。 1.4.5 可拆卸的视窗。 1.4.6 可通入还原性气氛。 1.5 软件要求 1.5.1 支持 Windows 系统； 1.5.2 温控软件：能实时显示温控任务中各种相关温度数据； 支持控制器所能做到的功能操作；具有温度/时间曲线显示功 能；具有温度数据采集功能，能在温度采集时实时插入注释， 能存储为能用常用软件打开的电子文件； 1.6 配有安全保护装置：满足 220V 工作电压要求。 1.7 保修期一年。 1.8 需出具厂家或代理商针对此项目的授权书原件。 1、主要参数： 最高温度:≥ 1200℃（小于 30min） 工作温度: ≥1100℃ 12 管式炉 推荐升温速率:≤10℃/min 加热区：≥200 mm 热偶：K 型热偶 额定功率：1.2KW 电压：单相 AC 208 - 240V, 50Hz 33 / 37 2 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 2、炉体结构： 采用双层壳体结构并带有风冷系统 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，炉膛表面涂有进口高温氧化铝 涂层 3、炉管尺寸：Φ50 x 450mm 配有两套氧化铝管堵 4、温控系统： PID 控制和自整定调节功能 智能化 30 段可编程控制 具有超温及断偶报警功能 控温精度: ±1 ℃ K 型热电偶 5、加热元件：掺钼铁鉻铝合金，电阻丝表面涂有氧化锆涂层 6、 真空法兰：两个不锈钢真空法兰（上已安装机械压力表） 7、真空表：机械真空压力表，测量范围：-0.1 ~ 0.15 Mpa， 表下端接口处为 3/8 " NPS，表盘直径为 50mm 8、开门断电功能 制冷方式：直冷 控温方式：机械温控 13 立式冰柜 有效容积：≥145L 1 冷冻能力（kg/12h）：≥7 温区/制冷温度：单温区/-14~-25°C 制冷控制系统：机械温控 14 冰箱 电压/频率：220V/50HZ 冷冻能力（kg/12h）：≥1.5 2 是否自动补偿：是 15 鼓风干燥 容积：≥30L 箱 内胆尺寸（mm）W*D*H：≥340*320*320 34 / 37 2 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 搁板：2 块 恒温波动度：±1℃ 温度均匀度：±3%（测试点为 100℃） 工作环境温度：+5～40℃ 控制范围：RT+10～200℃ 温度分辨率：≤0.1℃ 输入功率：≥850W 电源电压：AC220V 50HZ 定时范围：1～5999min 内槽尺寸：≥150*140*100mm 容量：≥2L 16 超声波清 标准超声频率：40KHz 洗机 超声功率：≥50W 1 工作时间可调：1-20min 其他配置：清洗网篮、220V/50Hz 电源 功率：180W 工作电源:220/50V/Hz 流量 L/min:≥60L/min 17 循环水真 空泵 扬程:≥8M 机体材质: 1Cr18 2 最大真空度:≤0.098Mpa 单头抽气量:≥10L/min 抽气头数:2 个 储水箱容积:≥15L 内槽尺寸 L*W*H：≥240*140*100mm 18 高功率超 声仪 容量：≥3L 超声功率：≥100W ≥2 档切换 频率：40KHz 加热功率：≥100W 35 / 37 1 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 时间：1-99Min 加热温度：0-80°C 电磁铁部分： 1. 直立座放，磁场在水平垂直、气隙双向可调，内置磁场传感 60mm 120mm，气隙可调 范围 0~80 mm 2. 磁场指标：间距 40mm 时磁场强度 1.2T 配备冷却系统重≥ 430KG 水冷型电磁铁（带机柜，低箱与轱辘） 水冷机： 1.标准制冷量：≥2.7KW；输入电源：～220V/50Hz； 3 输入功率：≥0.85kW；水泵流量：≥0.45m /h 稳流电源部分： 1. 交流输入：220VAC±10%； 2. 输出电压 0-120V 可调，分辨率≤10mV，精度 0.2%+10mV； 19 数控电离 3. 输出电流-30A-+30A 可调，分辨率≤10mA，精度 0.3%+10mA； 磁场发生 4. 纹波：≤0.5%+10mA(RMS) 系统● 5. 0.5%+30mV 6. 0.5%+10mV（rms） 0.3%+10mV 软件部分 磁场控制软件，可实现双边通讯，可自动数控磁场，磁场稳定 度≤0.1mT 高斯计 1. 分辨率：≤0. 1G(0.01mT) 2. DC 显示精度：±0.3% 3. DC/AC 频率范围：DC-20KHz 4. 100ohms 5. 温度系数：±(0.02%±1)/℃ 6. 操作温度：0℃～+70℃ 7. VGA 显示面板，≥480×270(像素) 36 / 37 1 项目名称：济南大学信息和自旋电子研究院等科研设备 项目编号：SDGP370000201802001049 8. 配备 CH-UTS.ASC 通信协议 9. 配备 USB 通讯接口 四、交货期 国产设备合同签订后一个月内完成供货安装调试；进口设备合同签订后三个月内完成供货 安装调试。（供应商可根据自身情况自报最短供货期） 五、交货地点 所有产品的交货地点均由采购人指定（山东省境内）。 六、质量保证及售后服务 1、免费提供用户操作培训、维护技术培训。 2、提供中文用户操作手册。 3、国产设备免费保修≥3+X 年，进口设备免费保修≥1+X 年，(X≥0)，供应商可自报质 保期，保修期后的维修只收取配件成本费。 4、设备如需计量、鉴定及校准，厂家首次免费提供。 5、所有软件免费提供开放接口，免费提供软件升级。 6、在中国境内设置备件库,并保证 10 年以上的供应期。 37 / 37